트러스트켐

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▣ ALD/CVD Precursors

- ALD/CVD의 증착 과정

- ALD/CVD의Mechanism

CVD(Chemical Vapor Deposition)
ALD(Atomic Layer Deposition)

- 제품의 종류

	Abbr.	Chemical formula	V.P. at T
Al2O3	TMA	Al(CH3)3	8.7 torr at 20 ℃
HfO2	TEMAHf	Hf[(C2H5)(CH3)N]4	1.2 torr at 60 ℃
HfO2	HfCl4	HfCl4	1 torr at 190 ℃
ZrO2	TEMAHZr	Zr[(C2H5)(CH3)N]4	1 torr at 70 ℃
ZrO2	ZrCl4	ZrCl4	1 torr at 186 ℃
TiN	TiCl4	TiCl4	1 torr at 20 ℃
TiN	TDMAT	Ti[N(CH3)2]4	1 torr at 60 ℃
TaN	TaCl5	TaCl5	1 torr at 111 ℃

기타 DEZ, DMCd, TEA, DMA etc.

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